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光反応性材料

構造

OGSOL SI-10-10/SI-10-20 構造・外観

特長

  • 光反応性
  • 高屈折率
  • 高耐熱性
  • 樹脂改質剤

用途例

  • コーティング
  • 光反応性
  • パターニング

物性表

  OGSOL SI-10-10 OGSOL SI-10-20
分子量 Mn 2,100 1,100
Mw 12,700 1,800
耐熱性（5％重量減） ℃ 362 350
屈折率(589nm) ー 1.67 1.68
溶剤溶解性
  • 評価条件 ： 10wt％溶液を作製し、常温下で振とう機を用いて、溶解させた。
  • 評価方法（目視） ： ○ 1時間以内に溶解、× 不溶
エーテル 芳香族 エステル ケトン アルコール
THF トルエン PGMEA シクロヘキサノン MEK MIBK i-プロパノール PGME
OGSOL
SI-10-10		 ○ ○ ○ ○ ○ ○ × ×
OGSOL
SI-10-20		 ○ ○ ○ ○ ○ × × ×

紫外線照射による吸収スペクトル変化

192mJ/cm2でSi-Si結合が切れ、パターニングが可能になります。
（340nm：Si-Si結合の吸収スペクトル）

紫外線照射による吸収スペクトル変化 グラフ