パターニング材料
構造
特長
- 光反応性
- 高屈折率
- 高耐熱性
- 低誘電率
用途例
- レジスト
- パターニング
- コーティング
物性表
| OGSOL SI-20-10 |
OGSOL SI-20-14 |
||
|---|---|---|---|
| 分子量 ※GPC（ポリスチレン換算） |
Mn | 900 | 1,000 |
| Mw | 1,200 | 1,100 | |
| 耐熱性（5％重量減） | ℃ | 347 | 323 |
| 屈折率(589nm) | ー | 1.64 | 1.72 |
溶剤溶解性
- 評価条件 ： 10wt％溶液を作製し、常温下で振とう機を用いて、溶解させた。
- 評価方法（目視） ： ○ 1時間以内に溶解、× 不溶
| エーテル | 芳香族 | エステル | ケトン | アルコール | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| THF | トルエン | PGMEA | シクロヘキサノン | MEK | MIBK | i-プロパノール | PGME | |
| OGSOL SI-20-10 |
○ | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | ○ |
| OGSOL SI-20-14 |
○ | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × | × |
レジストイメージ図
溶剤に溶解させたSI-20を塗布し、
露光させた後に現像することで、パターンが作製できます。
